MATLAB仿真辅助集成电路工艺原理实验教学研究

  • 打印
  • 收藏
收藏成功
微博 QQ空间 微信

摘 要：集成电路工艺技术是现代电子与信息产业的核心基础，因此“集成电路工艺”成为集成电路专业的核心课程之一，也是学生必修的基础课程。随着集成电路产业的快速发展，工艺的复杂性日益增加，传统以理论为主的教学模式由于缺乏足够的实践与仿真支持，难以满足学生深入理解与全面掌握集成电路工艺的需求。本文旨在探讨MATLAB编程在“集成电路工艺”课程教学中的应用，以气相沉积（CVD）和扩散工艺为例，利用MATLAB进行工艺模拟、数据处理和动态图形展示，从微观层面观察和理解硅原子的沉积过程。（剩余6119字）

试读结束

目录
monitor