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摘 要：该文深入探讨微电子工艺教学中的虚实融合教学模式，旨在通过构建虚拟仿真平台与微纳电子技术支撑平台，打破传统教学中对高端实验设备的依赖，实现理论教学与实践操作的深度融合。通过引入沉浸式VR技术，为学生创造一个近乎真实的微电子工艺学习环境，不仅提高教学效果，还降低教学成本。该教学模式注重学生创新思维与实践能力的培养，使学生在虚拟环境中反复练习，深入理解复杂工艺流程，掌握前沿技术动态。（剩余8051字）
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微电子工艺虚实融合式教学研究与实践
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