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摘 要:设计并搭建了一套面向测试斜探头的多参数实验平台,主要系统研究了斜探头频率、折射角与晶片尺寸对灵敏度、分辨力、声束偏折及信噪比的影响规律。实验可得到以下结论:当晶片频率提高时,灵敏度可增大、波束宽度减少,但SNR会相应减少;70°斜探头对横向缺陷有探伤优势,但需定期校准;当晶片边长每增2mm,近场长度近似翻倍。(剩余5627字)
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超声波斜探头性能参数的实验研究与优化分析
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