集成电路领域卓越工程师培养模式下的《半导体物理及器件》 教学研究

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一、引言

当今，全球集成电路产业规模的马太效应明显，相关的生产制造企业几乎全部集中在美国、欧洲、日本、韩国和中国台湾这五个地区，中国大陆作为一个追赶者，并没有被摩尔定律所束缚住，有机会实现异军突起。芯片生产线包括光刻技术、蚀刻技术、薄膜沉积技术三大类为主的高端生产线以及数百道工艺步骤。精确地保证每道工艺的成品率不仅需要资金的投入，还需要深厚的经验和大量的人才储备[1-2]。（剩余3883字）

试读结束

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