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引言
陶瓷材料（如Al 203 、SiC、 Zr02 ）因高硬度、耐高温、抗腐蚀及优异力学性能，在航空航天、电子封装、生物医疗、精密模具等领域广泛应用。然而，其硬脆特性导致传统加工方法存在效率低、表面损伤大、工具磨损严重等问题。机械抛光虽应用广泛，但易产生微裂纹和表面应力；化学机械抛光（CMP）虽能实现高精度，但效率低且化学试剂污染环境；超声波抛光受限于复杂形貌加工。（剩余3282字）
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手持激光抛光设备在陶瓷抛光上的研究分析
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