基于SE技术的硼扩散和氧化退火工艺研究

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摘 要：主要探究了关于N-TOPCon电池应用于选择性发射极（SE）技术中的硼扩散和氧化退火工艺。通过设定实验变量，包括无氧推进过程及其所处的硼扩散和氧化退火工艺阶段，进行了方阻、ECV和钝化方面测试验证。在氧化退火工艺中，低温氧气注入（860 ℃）能够改善整个非SE区域方阻的均匀性，延长升温无氧推进过程会降低方阻的均匀度；利用氧化硅和硅对于硼原子的不同扩散系数，低温氧气注入可以有效抑制硼原子的剧烈扩散，改善方阻均匀度。（剩余5109字）

试读结束

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