连续拉晶过程中石英坩埚内气泡的变化规律研究

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摘 要：针对石英坩埚在连续拉晶过程中需要长时间在温场和压力的环境下起到承载硅熔体作用的问题，提出内部的气泡变化可能会引起拉晶过程中晶棒的“断线”问题。针对石英坩埚内气泡在直拉单晶硅前后的变化规律和温度变化情况分别进行实验和模拟研究。结果表明，使用过的试样中气泡含量高于未使用过的试样，石英坩埚在使用前后的试样中观察到[φ=10～100] μm的气泡较多，其中外壁[φ=100～200] μm的气泡明显增多，内壁的气泡在石英坩埚使用前后明显长大，侧壁、拐角和底部的气泡变化较为平均，拐角处在较高温度下约[φ=200] μm的气泡较多，随着拉晶过程的进行晶棒出现“断线”现象的可能增大。（剩余8794字）