国产集成电路装备验证线标准体系研究与设计

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摘 要：本文针对国内开展集成电路装备验证线技术研究、项目试点“靶场”建设等实际需求，详细分析了集成电路装备验证线的组成结构及其标准体系架构。依据国内外相关标准体系建设的现状，设计了涵盖通用基础、研制生产、产品、检测及评价等4个方面的技术标准体系，并针对每个方面进行深入剖析，提出部分标准的技术框架。本标准体系设计填补了国内尚无8英寸装备验证线标准体系的空白，可为国产装备验证评估提供依据与参考。（剩余8003字）

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