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摘 要:对于晶圆表面缺陷检测来说,缺陷样本存在着样本数量不足,缺陷表现形式多样的问题。为解决此类问题,提出了一种基于改进生成对抗网络的晶圆表面缺陷检测模型。该模型首先在GANomaly模型的基础上引入了跳层连接,并引入CBAM注意力机制,用以更好地关注图像重要区域,其次引入记忆模块以约束潜在空间的表示,最后在原模型架构上新增一个自编码器架构判别器,以确保训练更稳定,更容易收敛到最佳平衡点。(剩余10936字)
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基于改进生成对抗网络的晶圆表面缺陷检测
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