DLC薄膜的研究进展
摘 要：DLC薄膜具有优异的综合性能，在分析DLC薄膜的结构和总结归纳DLC薄膜制备方法的基础上，阐述了DLC薄膜存在的问题和解决方法。
关键词：DLC薄膜; 结构; 制备方法; 金属掺杂
中图分类号：TG174 文献标识码：A 文章编号：1006-3315（2021）11-071-002
类金刚石（diamond-like carbon，DLC）薄膜是一种物理化学性质类似于金刚石的碳膜，具有高硬度、低摩擦系数、高耐磨损、高透光率以及良好的化学稳定性和生物相容性等优点，是一种具有广阔应用前景的薄膜材料。（剩余4381字）
