半导体设备预测性维修技术的运用探究

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摘要：在半导体生产制造中，设备的故障诊断与维护是一个重要环节，其影响因素众多，例如工艺、设备、环境等。有研究表明，设备故障的95%～100%发生在生产运行中，只有5%～15%发生在设备运行前。可见，设备故障具有突发性，对生产影响极大。 预测性维修技术的核心是通过监测、诊断、评估等手段获取设备的状态信息，以避免或减少设备故障带来的损失。（剩余5982字）

试读结束

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