高频薄膜体声波滤波器设计方法

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摘  要： 针对无线通信系统对高频化和集成化滤波器的需求，提出一种高频薄膜体声波滤波器设计方法。基于空腔型薄膜体声波谐振器（FBAR）结构，在空气腔上方建立有效压电复合薄膜结构模型，通过COMSOL Multiphysics仿真分析FBAR各层结构对频率特性的影响。结果显示，电极和压电层厚度显著影响谐振器性能，支撑层在高频下对频率偏移也有显著影响。（剩余7092字）

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