实现超导量子比特芯片的微纳加工方法

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摘 要 近年来随着各个科技强国和科技巨头企业的高度重视，超导量子计算技术发展迅速，在不到10年的时间内单个超导量子比特的退相干时间增长了5个数量级，从纳秒提高到了百微秒的量级，并有望提高到毫秒量级甚至秒的量级。超导量子比特芯片的制备是实现超导量子计算的基础，作为“物理前沿介绍———超导量子计算”系列的第六篇，本文系统阐述制备超导量子比特及其辅助器件芯片的微纳加工方法，并对制备方法的发展趋势作展望。（剩余15745字）

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