一种新型的电容式角度位移测量仪

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关键词 角度;位移;电容式传感器;差动电容

电容式测量仪是将被测量（如尺寸、压力等）的变化转换成电容量变化的一种仪器。把被测的机械量，如位移、压力等转换为电容量变化。它的结构简单、分辨率高、动态特性好，而且能在高温、强烈振动等条件下工作。电容式测量仪的输出电容值一般十分微小，因此测量仪选择借助差动脉宽电路，对于电容值进行测量，将微小角度位移变化引起的电容值成比例地转换成电压信号[1-5]。（剩余795字）

试读结束

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