迈克耳孙干涉仪中动镜微小位移量的测量方法研究

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关键词 迈克耳孙干涉仪;微小位移;图像处理;干涉测量术;白光干涉

在很多领域，常涉及诸如微小位移、微小伸长量等这一类参量的测量问题，如压电陶瓷在加端电压下的微小伸展、物体在温度变化下的微小伸缩、透明薄膜的微小厚度等。一般地，测量这类几何量的方法主要有光杠杆法[1-3]光干涉法[4-8]，其中，光杠杆法采用的是放大测量法，即将被测的微小量先放大为一个宏观量，进而通过测出放大后的宏观量由此达到测量微小量或微小变化量的目的，而光干涉法则是国内外常用的高精度测量法，它通过引入干涉技术从而测出被测的物理量。（剩余2071字）