接触（触针）式表面轮廓测量仪两种校准方法的比较分析

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【摘要】本文对接触（触针）式表面轮廓测量仪的两种校准方法进行比较。两种校准方法的相同点：两种校准方法都对仪器固有参数，如静态测量力、轮廓垂直分量（Z轴）和水平分量（X轴）进行校准。两种校准方法存在的差异：福建地方校准规范规定的方法是在固有参数基础上将轮廓仪软件系统里的直线度、弧度、角度等参数进行校准，系统地反映仪器特性；而京津冀地方校准规范规定的方法是采用量块和平晶作为标准，利用其具有的研合性对轮廓仪软件系统的阶梯参数进行校准。（剩余5536字）

试读结束

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