一种5倍暗场金相物镜的设计

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摘  要：为解决现有5倍暗场金相物镜照明亮度低且不均匀的问题，采用一体化设计新方法。首先通过选择光学结构，在光学设计软件ZEMAX中合理设置操作数，利用光学软件设计优化出光学系统；然后依据暗场照明约束条件设置反射光线，利用CAD软件设计出反射曲面。通过光学传递函数、暗场照明光束利用率、光斑尺寸和光斑均匀度等参数对物镜性能进行评价。（剩余6477字）

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