电弧法CVD金刚石膜热学性能影响因素分析

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关键词：电弧法，金刚石，热学性能，影响因素，改善措施

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随着功率器件向小型化和大功率趋势发展，芯片有源区的热量积累效应致使电子器件的功率性能无法充分发挥。当器件温度上升时，器件特性如：漏源电流、增益、输出功率和寿命等会出现退化，甚至失效[1，2]。金刚石是所有已知物质中热导率最高（～2000w/m·k）。（剩余3690字）

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