光致抗蚀剂标准需求和发展建议

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关键词：光致抗蚀剂，光引发剂，标准，标准体系

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光致抗蚀剂细分种类多、体系复杂属于典型的交叉学科，按光刻类型可分为正性胶和负性胶；按原材料光化学反应类型可分为光聚合型、光分解型和光交联型；按波长和对应线宽分类，光致抗蚀剂可分为g线（436nm）、i线（365nm）、KrF（248nm）、ArF（193nm），以及最先进的EUV（<13.5nm），光致抗蚀剂的分类见表1[1，2]。（剩余3667字）

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