基于薄膜传感器的传动锥齿轮柔性测试技术

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摘 要： 通过分析溅射气压对PdCr 薄膜电阻温度系数的影响以及退火条件对Pt 薄膜电阻率的影响，采用掩模板方法实现应变薄膜与热电阻薄膜图形化处理，并利用高温银浆烧结实现引线与敏感层薄膜的稳定连接，建立由Ni 基合金基带、Y2O3 过渡层、AlON-Al2O3 复合绝缘层、PdCr 应变敏感层/Pt 热电阻敏感层、Al2O3 防护层组成的薄膜传感器设计方法。（剩余1171字）

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