湿电子化学品的微粒子控制与量测

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摘要：随着国内半导体行业的快速发展，半导体行业上游的湿电子化学品项目如雨后春笋般快速兴起。由于半导体行业的技术越来越先进，对湿电子化学品的品质要求也越来越高。在湿电子化学品行业中，金属阳离子、微粒子、阴离子等是最关键的几个指标，其中就微粒子的控制与量测进行了探讨。

关键词：半导体；湿电子化学品；微粒子

湿电子化学品，统称为工艺化学品，是微电子、光电子湿法工艺制程中使用的各种液体化工材料的总称［1］。（剩余3119字）

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