柔性光栅间距视觉测量及光驱动柔性光栅栅距标定

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摘要：光栅是一种常见的光谱元件，在光谱物质检测领域有着重要的应用。由于传统机械光栅的光栅间距固定，物质吸收光栅衍射光的波长单一，因此对吸收光谱带较宽的物质检测效果不明显。柔性光栅在外界激励下光栅间距可调，衍射光波长可实时变化，适应于宽光谱带物质检测。为确定任意时刻柔性光栅在激励作用下的间距数据，文章根据工业废气中硫化氢和一氧化碳在近红外处的光谱特性，设计并制作了柔性光栅，并对光栅进行了仿真分析。（剩余10804字）

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