基于锁定放大技术的真空度检测系统

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摘  要: 针对中低真空环境真空度测量精度低的问题,在定温电桥再平衡法的基础上,提出一种交流定温锁定放大真空度检测方法。定温电桥的失调电压信号经过前置放大、带通滤波后进入相敏检测环节,利用锁定放大技术对采集到的失调电压信号进行处理。该方法能够提高检测系统的信噪比,使失调电压的测量精度获得提升。(剩余9045字)

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