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摘要：研究了低压化学气相沉积法（Low Pressure Chemical Vapor Deposition，LPCVD）制备TOPCon电池用多晶硅层的原理及优劣。TOPCon电池是一种高效率、低成本、适用于规模化生产的n型电池，其背面钝化层采用了隧穿氧化层与n型多晶硅层的叠层结构。（剩余5059字）
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LPCVD法制备多晶硅薄膜分析
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