2.45GHz ECR等离子体源引出系统初步设计

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摘 要：电子回旋共振（Electron Cyclotron Resonance，ECR）等离子体源是用来产生单电荷态离子束的等离子体装置，它可以产生束流较强或者较高的电荷态离子，同时还能提供束流的稳定性、重复性和工作寿命。引出系统的设计对ECR等离子体源是至关重要的，引出系统对等离子体的引出束流有直接影响，良好的引出系统设计可以提高引出束流强度。（剩余5327字）

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