光刻工艺虚拟仿真实验教学项目设计与应用
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[基金项目]2019年度教育部高等学校仪器类专业新工科研究与实践项目“微纳传感器加工与测试系列实验”（2019S016）;2020年度信息科技大学研究生课程建设项目“‘微纳加工与测试技术’课程建设”（2020YKJ09）;2022年度高校本科教学改革创新项目“‘智能感知工程’新工科专业建设探索与实践”（京教函[2022]395号）
[作者简介」（1987—），女（蒙古族），内蒙古乌兰察布人，博士，副教授，主要从事生物微机电器件研究。（剩余4537字）
