MoNx薄膜制备及其在柔性不锈钢CIGS太阳电池中的应用

打开文本图片集

收稿日期：2022-03-31

基金项目：国家重点研发计划（2018YFB1500201）；河北省重点研发计划（20314305D）

通信作者：陈静伟（1980—），男，博士、讲师，主要从事太阳能材料和电池方面的研究。chenjingwei@126.com

DOI：10.19912/j.0254-0096.tynxb.2022-0403 文章编号：0254-0096（2023）07-0122-07

摘 要：采用反应磁控溅射法制备MoNx薄膜，研究N2流量对MoNx薄膜的结构、形貌、元素组分和光电学特性的影响。（剩余13708字）