热场辅助单晶蓝宝石晶圆精研加工性能

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关键词 蓝宝石晶圆；热场辅助；精密研磨；表面粗糙度；去除机理

中图分类号 TH161；TG58；TG74 文献标志码 A

文章编号 1006-852X（2023）05-0649-08

DOI 码 10.13394/j.cnki.jgszz.2022.0203

收稿日期 2022-11-19 修回日期 2023-01-29

单晶蓝宝石（α-Al2O3）因具有优异的光学、物理和化学性能，如高热稳定性、高硬度、耐腐蚀性和优异的透光性，被广泛应用于大规模集成电路、固体激光、红外窗口、精密耐磨轴承等高技术领域[1-3]。（剩余4475字）