晶体各向异性及工艺参数对蓝宝石切片加工面形偏差的影响
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关键词 蓝宝石；金刚石线锯；晶体各向异性；面形偏差；工艺参数
中图分类号 TG74 文献标志码 A
文章编号 1006-852X（2023）05-0612-09
DOI 码 10.13394/j.cnki.jgszz.2022.0207
收稿日期 2022-11-24 修回日期 2023-02-08
蓝宝石因其优异的物理性能、化学性能和光学性能，已成为现代工业中极为重要的材料，在衬底材料等领域中广泛应用[1-2]。（剩余3003字）