基于Python语言的超薄金刚石切割片建模与SiC晶片切割仿真
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关键词 SiC 晶片；Python 语言；超薄金刚石切割片；切割参数；损伤
中图分类号 TQ164; TG58; TG74; TH161 文献标志码 A
文章编号 1006-852X（2023）05-0621-11
DOI 码 10.13394/j.cnki.jgszz.2003.0001
收稿日期 2023-01-03 修回日期 2023-02-06
作为各种电子电力器件中的关键部件，半导体器件受到了越来越多的关注。（剩余7373字）