基于玻璃碳基底的超薄自支撑多晶金刚石膜制备
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关键词 超薄金刚石膜；自支撑；玻璃碳基底；膜-基分离；生长机理；MPCVD
中图分类号 TG174.444; TQ164 文献标志码 A
文章编号 1006-852X（2023）05-0531-06
DOI 码 10.13394/j.cnki.jgszz.2023.0005
收稿日期 2023-01-06 修回日期 2023-03-18
金刚石膜因其优异的综合性能在半导体器件、光学窗口、生物医疗、散热、机械刀具[1-5] 等诸多领域有着重要的应用。（剩余4264字）