MEMS汽车压力传感器的标定算法研究

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【摘  要】压力传感器广泛应用在工业自动化、汽车电子、医疗设备和消费电子等领域，在汽车中的发动机、空调和TPMS（汽车轮胎压力监测系统）等零部件大量应用。标定过程是压力传感器关键工艺，标定过程中的保压和温控是该工艺的关键控制特性，为了确保传感器完全达到设定温度，标定过程需要很长的温度稳定时间，也需要高精度的温度和压力控制，为生产带来较大的困难，生产节拍难以提高，产量受到制约。（剩余6370字）

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