MEMS陀螺发展综述

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摘要： MEMS陀螺是基于微机械电子技术（Micro-Electro-Mechanical System， MEMS）开发的惯性传感器。得益于体积小、成本低等优点，MEMS陀螺被广泛应用于航空航天、工业控制、消费电子等领域。为了研究MEMS陀螺性能与控制方法之间的关系，首先介绍了MEMS陀螺的工作原理和主要性能参数，然后综合分析了MEMS陀螺发展的4个阶段：开环陀螺、力平衡陀螺、全角陀螺和频率调制陀螺，最终对MEMS陀螺未来技术发展趋势进行了总结。（剩余7269字）

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