铝薄膜的制备及其性能研究

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摘  要：采用直流磁控溅射法沉积铝薄膜，利用扫描电子显微镜（SEM）、四探针电阻测试仪和红外发射率测试仪对其形貌和性能进行表征，研究溅射功率（70、90、110、130 W）对铝薄膜的沉积速率、表面形貌、电学性能和红外发射率的影响规律。结果表明，随溅射功率的增大，铝薄膜的沉积速率逐渐增大，表面晶粒尺寸逐渐增大；铝薄膜的电阻率先降低后升高，其红外发射率呈现相同趋势。（剩余6415字）

试读结束

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