基于微形变分析的电容式MEMS加速度计温漂误差精密估计方法

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摘  要：

针对传统的电容式微机电系统（micro-electro-mechanical system， MEMS）加速度计（capacitive MEMS accelerometers， CMA）温漂误差（temperature drift error， TDE）补偿方法存在非精准溯源TDE致使TDE估计精度低、反复尝试估计模型构型导致构建过程复杂繁琐的问题，提出基于微形变分析的CMA TDE精密补偿方法。（剩余16544字）

试读结束

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