钯薄膜光纤光栅氢气传感器的研究

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摘 要 在长距离管道输氢过程中，氢泄漏的精确本安监测是氢能安全输送的关键。基于光纤布拉格光栅（FBG）传感技术，采用磁控溅射方法溅射钯金属氢敏薄膜，实现了氢泄漏传感器的制备。在此基础上，首先开展光纤光栅腐蚀前、后光栅波长漂移对照实验，结果表明：腐蚀后的光纤光栅可以显著提高传感器的灵敏度；然后研究了氢浓度在0%～5%时，不同薄膜厚度对FBG氢气传感器波长漂移量的影响规律；最后开展了不同氢浓度下的FBG氢气传感器响应重复性实验及温度补偿实验，结果显示该传感器能够有效、准确地进行氢浓度测量，灵敏度达到12.20 pm/%，且重复性良好。（剩余9106字）