高精度传感器温度漂移补偿分析与研究

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摘 要 针对高精度位移传感器的测量精度因受温度影响产生非线性误差，关键技术指标发生较大偏移的问题，对高精度位移传感器的温度漂移补偿进行研究，通过对系统组成和实现原理的分析，设计硬件补偿（电桥电路和补偿电路）和软件补偿（数字滤波、查表法及曲线拟合算法等），对测试数据进行深入分析、研究和建模，有效抑制了温度变化对传感器测量精度的影响，提升了高精度位移传感器的测量精度和线性度。（剩余7320字）

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