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摘 要：应变片式六维力传感器依赖人工贴装，制造成本高；电容式六维力传感器可实现自动化装配，但容易受到环境的干扰。针对以上问题，研究提出了一种电容-应变互补融合型传感器。该传感器将金属箔应变片与电容传感单元集成于同一弹性结构，既保留应变片高灵敏度的优势，又利用电容单元自动化装配的特性，显著简化了制造工艺。（剩余13501字）
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基于电容-应变互补的六维力传感器研究
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