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摘 要:针对现行工艺在多晶硅生成中应用存在蒸汽消耗量较大和能耗较高的问题,本文提出多晶硅生产中精馏节能减排的应用研究。对多晶硅生产原料进行筛分、粉碎和研磨处理,利用矿热炉对其粗馏,采用多效精馏技术进行粗馏物精馏提纯,并引入直接压缩式热泵精馏技术对精馏单元中的热量进行重复利用,实现精馏节能减排,采用硅烷工艺对精馏提取到的三氯化硅进行分裂处理,制备多晶硅,实现基于精馏节能减排的多晶硅生产。(剩余5411字)
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多晶硅生产中精馏节能减排的应用研究
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