静电驱动微镜参数激励下的亚谐振动分析

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摘要： 参数振动广泛存在于多物理场耦合的微机电系统中。为研究静电驱动微镜系统中存在的参数共振非线性动力学问题，以一类静电梳齿驱动微镜为例，通过七次多项式拟合梳齿电容变化并建立微镜动力学模型，研究不同因素下系统的参数共振响应变化。研究了静态下微镜结构参数变化对扭转角度的影响规律；应用多尺度法分析了谐振状态下系统参数对共振幅值变化的影响规律并对系统参数共振进行了数值验证；最后利用Runge⁃Kutta法对系统亚谐参数共振的稳定性进行了分析与验证。（剩余11465字）

试读结束

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