非完全覆盖双层微梁谐振器热弹性阻尼建模

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摘要 热弹性阻尼是决定微机械谐振器品质因子上限的关键参数之一。以往热弹性阻尼解析解只适用于完全覆盖多层微梁结构。由于制造工艺和实际功能需求，非完全覆盖双层梁为代表的复杂结构形式更普遍。基于傅里叶传热定律，推导出非完全覆盖双层微梁谐振器热弹性阻尼的解析解。同时利用数值方法和实验验证了该解析解的有效性。（剩余10088字）

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