一种差分杠杆结构的硅微谐振加速度计设计与实现

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摘  要：硅微谐振加速度计是一种测量载体运动加速度的微机电惯性仪表，是地震勘探应用领域的重要工具之一。现有加速度计标度因数普遍偏低，直接影响所在地震检波器系统的分辨率。文中设计一种差分杠杆结构的硅微谐振加速度计，利用微杠杆结构放大质量块的惯性力，以提高标度因数指标，为地震勘探领域硅微谐振加速计设计提供参考。（剩余6772字）

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