微槽的超声振动辅助磁性复合流体抛光工艺研究

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摘要：针对微通道制氢反应器的微槽底部光整加工难题，开展超声振动辅助磁性复合流体（UMCF） 抛光工艺研究。根据表面接触理论分析微槽底部气膜对磁性复合流体 （MCF） 抛光的影响，引入超声振动改善 MCF 抛光微槽底部的表面质量；通过试验探究 UMCF 抛光对微槽底部的抛光效果；研究不同参数下 MCF 抛光和 UMCF 抛光对微槽的表面形貌、表面粗糙度和去除率的变化规律，获得最佳的抛光参数。（剩余9185字）

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