Al-Eu共掺杂ZnO薄膜的制备与光电性质研究

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摘  要：该文采用射频磁控溅射技术在c面蓝宝石和p型硅衬底上制备Al-Eu共掺杂ZnO（AEZO）薄膜，探讨不同衬底类型及退火处理对薄膜的物相结构、电子性能以及光学性能的作用。XRD分析确认AEZO薄膜呈六角纤锌矿结构，Al3+和Eu3+离子成功掺杂，且薄膜高度织构化。蓝宝石衬底的AEZO薄膜结晶度更优，退火提升其结晶质量。（剩余7418字）

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