电感耦合等离子体原子发射光谱法测定工业硅中铁、铝、钙元素含量的不确定度评定

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摘  要：该文对电感耦合等离子体原子发射光谱法测定工业硅中铁、铝、钙元素含量的方法进行描述，系统分析不确定来源，对数据进行采集和量化，计算得出不确定度分量、合成标准不确定度、扩展不确定度。根据评定结果分析得出，标准曲线拟合中曲线变动性产生的不确定度最大。

关键词：电感耦合等离子体原子发射光谱法；工业硅；铁；铝；钙；扩展不确定度

中图分类号：TG115       文献标志码：A          文章编号：2095-2945（2023）19-0067-04

Abstract： In this paper， the method of determining the content of iron， aluminum and calcium in industrial silicon by inductively coupled plasma atomic emission spectrometry is described， and the sources of uncertainty are analyzed systematically. Through data collection and quantitative calculation， the uncertainty component， composite standard uncertainty and extended uncertainty are obtained. According to the analysis of the evaluation results， it is concluded that the uncertainty caused by curve variation is the largest in standard curve fitting.

Keywords： inductively coupled plasma atomic emission spectrometry; industrial silicon; iron; aluminum; calcium; extended uncertainty

工業硅作为重要的化工原料，在我国经济发展中具有特殊的地位，是新能源、新材料产业发展中不可或缺的重要材料，在光伏和半导体领域有着广阔的应用前景。（剩余1371字）

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