8英寸半导体厂房给排水系统设计工程实例分析

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摘  要：介绍半导体厂厂房给排水系统的设计要点，该系统具有涉及面广、系统相对分散且复杂的特点。并以某8英寸半导体集成电路制造生产线建设项目为例，介绍给排水系统的构成，对部分设计工艺和参数做介绍。其中超纯水采用双RO的创新性工艺设计，不但能满足车间生产需求，还大大降低工程造价成本。因此，该文认为给排水设计是工业厂房设计中非常重要的部分，采用新型工艺设计能够大大减少建设成本。（剩余4926字）

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