超短脉冲激光与碳化硅相互作用研究

  • 打印
  • 收藏
收藏成功
微博 QQ空间 微信


打开文本图片集

摘  要：碳化硅（SiC）在半导体制造行业、航空航天领域应用广泛。超短脉冲激光可以实现SiC的冷加工，而研究激光与SiC相互作用过程及损伤阈值是一项重要研究课题。文章基于电子密度增长速率方程，结合雪崩电离模型、光致电离模型及电子空穴复合模型，对百飞秒至十皮秒的超短脉冲激光与SiC相互作用过程进行分析。（剩余6620字）

试读结束

目录
monitor