一种可自动检测宏观缺陷的AOI设备设计探究

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摘  要：目前，TFT-LCD行业CF基板的微观缺陷主要依靠AOI设备进行。AOI的原理是通过五点比对法自动对微观缺陷进行锁定;而基板的宏观品质主要依靠Mura设备进行。Mura设备原理是通过钠灯照射，CCD生成精度较低的基板灰度图像，由作业人员人眼进行缺陷的检测，这种宏观检测方法自动化低，依赖人力，准确率的稳定性也很难保证。（剩余4656字）

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