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【关键词】柔性电容式;压力传感器;光刻工艺;喷墨打印工艺
引言
柔性电容式压力传感器凭借其卓越的柔韧性、高灵敏度以及快速响应特性,在众多新兴应用场景中广泛应用。例如,在可穿戴设备领域,人们期望传感器能与衣物等柔性材质完美融合,实现对人体生理参数及运动状态的精准监测,为健康管理和运动训练提供可靠数据;在智能机器人的触觉感知方面,柔性电容式压力传感器有望赋予机器人更接近人类的触感,提升其在复杂环境中的作业能力。(剩余4951字)
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柔性电容式压力传感器制备技术
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