α-Al2O 3对MEMS氢气传感器Ni测温薄膜的阻氢机制及验证
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摘 要：为解决MEMS氢气传感器中Ni测温薄膜因氢气渗透导致稳定性下降的问题，基于第一性原理分子动力学与势能面扫描技术，探究了α-Al 2O 3对H 2/O 2/CO 2的阻氢机制及对Ni测温薄膜的保护作用。结果表明：H 2分子在α-Al 2O 3表面需克服5.04 eV的解离能垒才能转化为H原子扩散，解离后的H原子与Al、O形成瞬时化学键；H 2整体渗透能垒升高；O 2分子难以吸附或反应，CO 2渗透能垒高达6.55 eV，均无法穿透。（剩余12592字）
